热波成像扫描电子显微镜镜体电路的研制

来源 :云南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xfchen113001
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热波成像扫描电子显微镜是观察和分析物质表面及亚表面特性的重要仪器。我校受成都电讯工程学院的委托,研制热波成像扫描电镜的镜体,作者承但了镜体电路的研制工作。由于利用一台扫描电镜的半成品来改制成为热波成像扫描电子显微镜,各路低压稳压电源已制作好,但没有任何电原理图和电路板图以及总体结构图。首先对每一块电路板进行检查并参照实物画出电原理图,进而整理、修复、调整、测试了全部17组低压电源,使之正常工作,稳定度达到额定要求,详细记录了测试的数据及曲线。热波成像扫描电镜是通过高频电子束不断打击样品,在样品内部产生冲击波和热波并作用在样品下面的压电晶体上产生电流,这个电流是很微弱的。要把这些图象信号反映在 Thermal wave imaging scanning electron microscopy is to observe and analyze the material surface and subsurface properties of important instruments. Our school commissioned by the Chengdu Telecommunications Engineering Institute, the development of thermal wave imaging scanning electron microscopy, the author but the body of the lens of the development. Due to the use of a SEM semi-finished products to transform into a thermal imaging scanning electron microscope, the various low-voltage power supply has been produced, but without any electrical schematic and circuit board diagram and the overall structure. First of all, each circuit board inspection and reference to the physical drawing of electrical schematics, and then organize, repair, adjust, test all 17 groups of low-voltage power supply, make it work, the stability of the rated requirements, a detailed record of the test data and curve. Thermal wave imaging scanning electron microscopy is through the high-frequency electron beam continues to hit the sample, the sample produced inside the shock waves and heat waves and role in the sample below the piezoelectric crystal to generate current, the current is very weak. It is necessary to reflect these image signals
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