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<正> 一、引言 八十年代末,随着微电子技术的惊人发展,促使人类步入了信息时代,有力地推动了各学科领域高新技术的飞速发展。在它的启示下,人们设想将微传感器、微处理器、微执行机构等器件集成在一个极小的几何空间内组成微型机电系统(MEMS),从而能象生产集成电路一样大批量、廉价生产微型机械及其电气控制系统。该设想立即受到各国政府和科学界的高度重视。在美国科学基金支持下于1987年7