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区熔单晶生长过程中高频线圈形变篚原因分析及理论计算
区熔单晶生长过程中高频线圈形变篚原因分析及理论计算
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiegenda
【摘 要】
:
主要针对高频线圈于单晶生长过程中,在高频电流及棒体的高温作用下,产生的附加扭矩,改变线圈的设计外形,进行了原因研究、理论计算,并对单晶生长的影响进行了分析。通过采取适当的
【作 者】
:
刘洪
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2012年10期
【关键词】
:
高频线圈
附加扭矩
区熔单晶
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主要针对高频线圈于单晶生长过程中,在高频电流及棒体的高温作用下,产生的附加扭矩,改变线圈的设计外形,进行了原因研究、理论计算,并对单晶生长的影响进行了分析。通过采取适当的措施,降低由于线圈的形变对单晶的影响,提高单晶的成晶率。
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