【摘 要】
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电化学电容-电压（ECV）法对测量化合物半导体载流子浓度纵向分布具有重要意义。本文用乙二胺四乙酸二钠（EDTA）电解液对高铝组分AlGaAs化合物半导体单层样品测试，相比钛试剂（Tiron）电解液因为优化了腐蚀均匀性提高了测试的精确度。但对低铝组分AlGaAs化合物半导体单层样品材料测试时，EDTA电解液因腐蚀速率过快不能准确测量载流子浓度，无法替代Tiron电解液进行测试。于是对EDTA电解液进
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电化学电容-电压（ECV）法对测量化合物半导体载流子浓度纵向分布具有重要意义。本文用乙二胺四乙酸二钠（EDTA）电解液对高铝组分AlGaAs化合物半导体单层样品测试，相比钛试剂（Tiron）电解液因为优化了腐蚀均匀性提高了测试的精确度。但对低铝组分AlGaAs化合物半导体单层样品材料测试时，EDTA电解液因腐蚀速率过快不能准确测量载流子浓度，无法替代Tiron电解液进行测试。于是对EDTA电解液进行稀释改良，通过减缓腐蚀速率来实现对低铝组分AlGaAs化合物半导体单层样品材料的载流子浓度测量。分布式布拉格（DBR）样品同时包含高铝组分AlGaAs和低铝组分AlGaAs，笔者实现用EDTA单一电解液对载流子浓度的测量，与二次离子质谱（SIMS）测试比较具有高度一致。本文为ECV对高铝组分AlGaAs化合物半导体材料体系的载流子浓度测量提供了新方法。
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