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为了研究太赫兹散射特性测量中准直系统的影响因素，利用Zemax光学设计仿真软件对太赫兹散射特性测量中的准直系统进行建模以及仿真。分别从出射激光的束腰和发散角这两个方面，研究了在118.83 μm的太赫兹发射源中，出射激光对准直光束的准直性、宽度和发散角的影响，为散射特性的精确测量提供一定的理论支撑。