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本文详细阐述了利用石英晶体谐振器检测蒸镀薄膜膜层厚度和速率的基本原理及优势。结合石英晶体压电特性,推导出原料与不同材料结合时的谐振频率变化和蒸镀层材料之间质量与频率关系,从而推算出精确膜厚。为各领域探测蒸镀材料厚度提供精确的测量支持。
利用石英晶体对膜层厚度检测的研究
【摘 要】
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本文详细阐述了利用石英晶体谐振器检测蒸镀薄膜膜层厚度和速率的基本原理及优势。结合石英晶体压电特性,推导出原料与不同材料结合时的谐振频率变化和蒸镀层材料之间质量与
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十四研究所
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2018年7期
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