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纳米结构的ZnO由于具有优异的光、电、磁、声等性能，已经成为光电、化学、催化、压电等领域中聚焦的研究热点之一。不同纳米结构的ZnO其制备方法不同，着重概述了采用化学气相沉积（CVD）工艺制备ZnO纳米材料，包括直接热分解、高温加热锌粉、碳热还原法以及金属有机气相沉积（MOCVD）4种方法，重点讨论了不同锌源和氧源对ZnO纳米结构的影响规律，并初步探讨了ZnO的VLS与VS生长机理，同时展望了ZnO在各领域中的最新应用。