碳化硅单晶材料的溶剂热合成与表征

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采用SiCl4、CCl4和金属K体系,以溶剂热合成法在高压釜中制备了碳化硅(SiC)单晶材料.通过X射线粉末衍射(XRD)、Raman光谱和透射电子显微镜(TEM)对产物进行了表征.其中XRD数据显示所得产物为碳化硅.TEM结果表明,采用不同剂量的金属K,所得产物分别为丝状和片状的SiC单晶.SiC单晶丝直径为10~20nm,长度可达1.5um;SiC晶片的横向尺寸为0.1~3um,具有规则多面体外形,显示阶梯状生长侧面.此外,对SiC单晶材料的生长机理进行了讨论,研究了过饱和度对SiC晶体生长和形貌的影
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