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基于ANSYS软件模拟设计了单元镜面面积为60×60μm^2的32×32元微反射镜阵列，其工作频率可达到30KHz，最大扫描偏转角度为±10°，响应时间少于30μs。同时提出了一种基于表面薄膜工艺的加工方法，成功制作了该32×32元的微镜阵列，并进行了初步测试。
32×32微镜阵列的ANSYS模拟和制造工艺研究
【摘 要】
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基于ANSYS软件模拟设计了单元镜面面积为60×60μm^2的32×32元微反射镜阵列，其工作频率可达到30KHz，最大扫描偏转角度为±10°，响应时间少于30μs。同时提出了
【机 构】
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华中科技大学光电子科学与工程学院,武汉光电国家实验室,深圳大学工程技术学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2006年6期
【基金项目】
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国防预研基金（51401010104JW05）.
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