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用 X 射线衍射和高分辨电镜研究了 MOCVD 法生长的 YBCO/SrTiO_3超导薄膜的显微结构和缺陷.发现在 T_c≈80K,J_c 近似10~4A/cm~2的 c 轴择优取向的薄膜中,存在着非晶型夹杂,杂相和其它取向的123相,它们可能是限制薄膜超导性能进一步提高和导至重复性差的主要原因.