【摘 要】
：
激光刻蚀碳化硅的影响因子较多,仅依靠试验方法研究激光刻蚀过程难以充分和有效了解其过程,数值仿真模拟已成为研究激光刻蚀的一种有力手段。基于ABAQUS有限元软件的数学模型
【基金项目】
：
安徽省高校自然科学重点项目(KJ2015A013);安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2016153)
论文部分内容阅读
激光刻蚀碳化硅的影响因子较多,仅依靠试验方法研究激光刻蚀过程难以充分和有效了解其过程,数值仿真模拟已成为研究激光刻蚀的一种有力手段。基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟了不同激光热源下碳化硅激光刻蚀过程中温度场和刻蚀深度的变化。结果表明:不同的热源模型对刻蚀区域的最高温度及热影响区的温度分布有一定影响,综合比较发现选择双椭球热源模型优于高斯面热源模型。
其他文献
为研究黄土公路隧道洞口段的变形规律,以陕西境内吴子高速公路刘家坪2号隧道右线为依托,采用现场监控量测的方法,对洞口段的净空收敛、围岩内部位移及拱部下沉进行测试。结果
以生防菌TY-1以及新型农药50%凯泽悬浮剂为供试药剂,于黄瓜白粉病发生初期进行了田间药效防治试验。结果表明,生防菌TY-1能降低黄瓜白粉病的发病率,防治效果达62.79%,仅次于5
介绍了辣椒枯萎病病原形态特征及发病条件，分析了发病因素与发病症状，并提出了辣椒枯萎病综合防治方法，以供参考。
围堰气囊下水法因为适应性强,投入少等优点,在桥梁基础施工中得到越来越多的应用。但目前尚无系统的分析与研究。对围堰下水过程的静力与动力进行理论分析,推导计算围堰下水
目的在CNTs表面镀上一层均匀分布的铜镀层,以此优化CNTs在金属基体中的润湿性,提高CNTs与金属基体之间的界面结合力,实现CNTs在金属基体中的均匀分散,为制备高性能金属基复合
从当前需求出发,教师应根据职校计算机软件教学现状,理出教学整体思路,备课时,应制作视频教案,以提高教学效率,同时,也可发挥学生能动性,注重对学生艺术素质的培养。授课时,
目的了解急性脑梗塞患者应用规范化护理干预的临床效果。方法随机抽取本院近年来收治急性脑梗塞患者100例,根据护理方案不同将其分为对照组与观察组,对照组患者接受常规急性
本文探讨了以问题为基础的教学法（Problem—based Learning）应用于消化内科实习的必要性，介绍应用PBL进行消化内科实习教学的方法及初步体会。
<正> 在开展污染气象、大气化学、大气扩散等方面科研工作中,采集大气样品是一项基础工作。由于研究的对象涉及到一定的空间范围和时间长度,大气采样也必须在一定时间和一定
分析了高低压厂用电系统的中性点接地方式，针对井冈山华能电厂具体情况进行了讨论，确定了其接地方式。