【摘 要】
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柔性衬底因其独特的挠曲性和延展性,能够代替传统的刚性材料来制备柔性高密度MIM电容.利用原子层沉积技术,以SU-8紫外固化的环氧树脂为衬底,制备了柔性Ta2O5 MIM电容,并对制
【机 构】
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河南省工业学校,河南 郑州 450011
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柔性衬底因其独特的挠曲性和延展性,能够代替传统的刚性材料来制备柔性高密度MIM电容.利用原子层沉积技术,以SU-8紫外固化的环氧树脂为衬底,制备了柔性Ta2O5 MIM电容,并对制备的器件进行了电学性能的表征.结果表明:电容器件获得了较高的电容密度,为5.1 fF/μm2.与Si基制备的Ta2O5 MIM电容相比,环氧树脂基能够获得较低的漏电流密度和较小的电容电压系数,漏电流密度4.5×10-6 A/cm2,电容电压系数为975×10-6/V2.
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