【摘 要】
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文章介绍了凯泽斯劳滕大学新开发一种步进电动机驱动的四轴超精密机床的结构、工作原理及步进电动机控制系统。该机床具有纳米级运动精度 ,可以加工圆柱、球面及非球面等光学
【机 构】
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凯泽斯劳滕大学rrrrrrrrrn,凯泽斯劳滕大学
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文章介绍了凯泽斯劳滕大学新开发一种步进电动机驱动的四轴超精密机床的结构、工作原理及步进电动机控制系统。该机床具有纳米级运动精度 ,可以加工圆柱、球面及非球面等光学表面 ,表面粗糙度值小于 5nm。
This article introduces the structure, working principle and stepper motor control system developed by Kaiserslautern University for a newly developed stepper motor-driven four-axis ultra-precision machine tool. The machine has nanoscale motion accuracy, can be processed cylindrical, spherical and aspheric optical surfaces, the surface roughness is less than 5nm.
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