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通过出售激光退火机,美国有两家公司正在继续大力研究半导体的脉冲与连续波激光退火。其中一家是Quantronix公司,它早先出售的退火机中只有一台脉冲Nd-YAG激光器,现在已向国际商业机械公司研究实验室提供了一台同时包括YAG和连续波氩激光器的系统。另一家出售固体激光器系统
由Ar~+激光器和YAG激光器组成的脉冲与连续退火系统
【摘 要】
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通过出售激光退火机,美国有两家公司正在继续大力研究半导体的脉冲与连续波激光退火。其中一家是Quantronix公司,它早先出售的退火机中只有一台脉冲Nd-YAG激光器,现在已向国
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1981年5期
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