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采用溶胶-凝胶法在经不同表面预处理的NiTi形状记忆合金（NiTi SMA）基体上复合锆钛酸铅（PZT）铁电陶瓷薄膜，利用X射线衍射仪和扫描电镜研究了烧结温度对复合材料的陶瓷层及NiTi SMA基体相组成的影响及NiTi SMA基体表面预处理形貌对其与陶瓷层之间复合结构的影响。结果表明：采用650℃烧结、缓慢冷却得到的陶瓷薄膜层具有单一钙钛矿PZT相结构；表面经过腐蚀预处理的NiTi SMA基体与陶瓷层结合良好。