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<正> 1998年,液晶显示器(LCD)面板价格开始下跌,随之其产品市场却相应得到进一步扩展。市场的发展使得液晶显示器的原有生产线也要进行改造,并针对基板尺寸、制造过程,搬运装置及生产方式进行全面的评估,以下简要介绍其清洗设备的发展。第一代薄膜LCD用清洗设备出现在1990～1991年期间,当时的基板尺寸仅300mm×400mm。到1993～1994年期间,基板尺寸扩大到370mm×470mm及400mm×500mm两种规格。1995～1996年期间出现了550m