【摘 要】
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基于多轴加速度计的构成方式,提出了一种新型的三轴向梳齿式电容加速度计。内部支撑梁与外部可动电极相连接的结构,在体积相同的条件下,增加了输出电容;采用完全对称结构,支
【机 构】
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沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心
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基于多轴加速度计的构成方式,提出了一种新型的三轴向梳齿式电容加速度计。内部支撑梁与外部可动电极相连接的结构,在体积相同的条件下,增加了输出电容;采用完全对称结构,支撑梁与电极板等厚,增加稳定性的同时提高了抗过载能力;完全对称的梳齿分布,避免了水平向加速度的相互干扰;可动齿与不动齿的不对称结构,避免了水平向对z轴向的干扰。利用MEMS专业有限元软件ConventorWare对其进行静态分析、抗过载分析和模态分析,此加速度计在满量程状态下能安全工作,工作频率为94.1 kHz.
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