【摘 要】
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采用FTO/LTO(LPO)/TaOx/Al复合结构,利用磁控溅射分别制备TaOx,LTO(LixTiyOz),LPO(LixPOy)薄膜,研究了制备工艺对复合薄膜的微结构、离子传输特性的影响.重点探讨了不同退火
【机 构】
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东北大学秦皇岛分校,河北省电介质与电解质重点实验室
【基金项目】
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辽宁省自然科学基金(20170540325)
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采用FTO/LTO(LPO)/TaOx/Al复合结构,利用磁控溅射分别制备TaOx,LTO(LixTiyOz),LPO(LixPOy)薄膜,研究了制备工艺对复合薄膜的微结构、离子传输特性的影响.重点探讨了不同退火温度LTO/TaOx,LPO/TaOx复合结构的光电性能和Li^+界面传输行为.结果表明,LTO/TaOx复合结构中,电荷转移电阻在离子传输中起着重要的作用,界面电导率在很大程度上有助于总电导率;LPO/TaOx复合结构随着退火温度的升高,电解质薄膜之间元素扩散现象加剧,总的离子电导率逐渐减小.
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