【摘 要】
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文章提出了一种采用湿法刻蚀制备含滤光光阑的三明治结构微透镜阵列(MLA)的方法。该方法制备的微透镜阵列透镜一致性好,其上的滤光层能够有效遮挡杂光,极大改善了激光直写光刻
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文章提出了一种采用湿法刻蚀制备含滤光光阑的三明治结构微透镜阵列(MLA)的方法。该方法制备的微透镜阵列透镜一致性好,其上的滤光层能够有效遮挡杂光,极大改善了激光直写光刻系统(LDI)的曝光效果,并且该方法具有制备设备简单、制备成本低、适合大批量制备的特点。
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