【摘 要】
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由于柯肯德尔效应,异质金属键合不可避免地会在键合界面扩散形成金属间化合物,进而形成可见的柯肯德尔空洞,导致焊点脱开失效。以Si-Al丝超声键合技术研究为出发点,针对线径2
【基金项目】
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国家重大专项基金项目(项目编号:2013ZX01034001-004)
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由于柯肯德尔效应,异质金属键合不可避免地会在键合界面扩散形成金属间化合物,进而形成可见的柯肯德尔空洞,导致焊点脱开失效。以Si-Al丝超声键合技术研究为出发点,针对线径25μm的Si-Al丝,通过正交试验设计、拉力测试及显微镜目测相结合的方法,在硅基Al焊盘上研究了超声功率、压力与时间对Si-Al丝超声键合强度的影响,总结了Si-Al丝超声键合工艺窗口。经实践证明,按照该种工艺键合的产品可符合产品要求。
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