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化学气相沉积ＺｎＳ是一种脆性材料，其硬度由晶粒尺寸控制，符合Ｈａｌｌ－Ｐｅｔｃｈ关系，而对晶体缺陷微孔不敏感，断裂韧性则同时受晶粒尺寸及微孔的控制，沉积温度是决定ＺｎＳ晶粒大小的主要因素，同时也影响ＺｎＳ中的微孔数量，Ｈ２Ｓ／Ｚｎ摩尔流量比，沉积速率则仅影响ＺｎＳ中的微孔微裂纹的存在与否。
沉积参数对CVD-ZnS块材料组织及力学性能的影响
【摘 要】
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化学气相沉积ＺｎＳ是一种脆性材料，其硬度由晶粒尺寸控制，符合Ｈａｌｌ－Ｐｅｔｃｈ关系，而对晶体缺陷微孔不敏感，断裂韧性则同时受晶粒尺寸及微孔的控制，沉积温度是决定ＺｎＳ晶粒大小的主要因素，同时也影响ＺｎＳ中的微
【机 构】
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西安交通大学,西北工业大学
【出 处】
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兵器材料科学与工程
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国防科技预研基金
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