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Ti膜的离子注入表面强化效应研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：join20102010

【摘 要】

：

本文研究了Ar⁺+N⁺注入铍表面Ti膜后,表面层的强化效应。实验先以Ar⁺注入(剂量为4.5&#215;10¹⁶/cm²),再注入N<sup>+

【作 者】

：

邱成峰 徐式如 

【机 构】

：

西安交通大学,西安交通大学

【出 处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1990年5期

【关键词】

：

表面强化 离子注入 TI 表面硬度 耐磨性能 强化效应 硬质相 磨损速率 显微硬度 最佳剂量 

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本文研究了Ar⁺+N⁺注入铍表面Ti膜后,表面层的强化效应。实验先以Ar⁺注入(剂量为4.5×10¹⁶/cm²),再注入N⁺(剂量分别为1.6×10¹⁷/cm<s

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