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介绍了圆光栅的中周期误差产生的主要原因，检测方法以及评定带有中周期误差的圆光栅刻划的两种方法。
含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定
【摘 要】
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介绍了圆光栅的中周期误差产生的主要原因，检测方法以及评定带有中周期误差的圆光栅刻划的两种方法。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1997年3期
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