Mach-Zehnder型有机极化聚合物电光调制器

来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oversky99

【摘要】

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制备了一种以三层聚合物为波导材料的Mach-Zehnder型电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料．主要制备工艺为：旋涂制备波导薄膜、电晕极化、光刻和氧反应离子刻

【作者】

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杨晓红杜云石志文吴荣汉

【机构】

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中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心,

【出处】

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城市道桥与防洪

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

极化聚合物 MZ波导电光调制器

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制备了一种以三层聚合物为波导材料的Mach-Zehnder型电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料．主要制备工艺为：旋涂制备波导薄膜、电晕极化、光刻和氧反应离子刻蚀．以1.3μm和1.55μm半导体激光器为光源,以光纤耦合输入脊波导调制器，从输出端得到很好单模近场图,其中从Y型两分支波导输出的光强基本相同．同时在示波器中得到清晰的调制信号．

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