氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性

来源 :摩擦学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robinlaikankan
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对铝合金LY12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入,从而在铝合金表面形成氮化铝(AlN)/类金刚石碳膜(DLC)改性层.考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性;用X射线光电子能谱仪和小掠射角X射线衍射仪分析了AlN/DLC改性层的成分及相结构;用激光Raman光谱仪分析了表面单一碳层及磨痕的结构.结果表明:AlN/DLC改性层总厚度达800 nm,最表层为厚400 nm的DLC薄膜,过渡层主要由Al4C3、β-C3N4、Al2O3及AlN等组成,注氮层由Al2O3和AlN等组成;表面
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