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介绍了一种用于近场扫描光学显微镜（SNOM）中的高透过率光纤探针的制作方法。采用氢氟酸腐蚀低掺杂的普通单模石英光纤，选取适当比例的腐蚀液，并通过激光消融的方法得到直径、圆锥角均十分理想、表面光滑的针尖，所获探针直径变化范围为80-200nm，锥度40°-81°，透过率3．5×10^-3。
高透过率、高分辨率纳米微探针的制备
【摘 要】
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介绍了一种用于近场扫描光学显微镜（SNOM）中的高透过率光纤探针的制作方法。采用氢氟酸腐蚀低掺杂的普通单模石英光纤，选取适当比例的腐蚀液，并通过激光消融的方法得到直径、圆锥
【机 构】
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郧阳师范高等专科学校物理系,同济大学Pohl固体物理研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年8期
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