【摘 要】
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大口径光学镜面检测系统常常需要透镜元件。透镜元件由自重引起的表面变形严重干扰了系统成像质量,优化设计合适的支撑方案获得较小的变形量是较为关键的工作。针对某检测装
【机 构】
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中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所; 中国科学院天文光学技术重点实验室; 中国科学院大学;
【基金项目】
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国家自然科学基金(11627804)
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大口径光学镜面检测系统常常需要透镜元件。透镜元件由自重引起的表面变形严重干扰了系统成像质量,优化设计合适的支撑方案获得较小的变形量是较为关键的工作。针对某检测装置中直径为1.5m的透镜进行研究,使用三维绘图软件Solidworks和有限元软件Ansys模拟透镜支撑点的位置和力的大小,通过实验设计软件Design-Expert以及Ansys中的OPT模块进行优化,选定最佳的设计方案,借助Zernike多项式拟合出透镜前后表面的面形。结果表明:透镜两个表面变形量的均方根(RMS)值分别为1.85nm和3.28nm,波峰-波谷值分别为9.4nm和24.4nm,透镜的整体变形量引起的透射波前像差RMS值为0.998nm,满足镜面检测对于透镜的精度要求。
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