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对电子回旋共振低温等离子体化学气相沉积工艺（ECR-PECVD）沉积GaN薄膜过程中的氮气和三甲基镓有机金属气体（TMG）混合气体等离子体发射光谱进行分析。结果表明TMG在等离子体自加热条件下就发生离解,N2/TMG混合气体ECR等离子体主要以Ga气体粒子和亚稳态氮分子为主。发射光谱特征谱线随微波功率变化分析表明：当微波功率高于400W时,亚稳态氮分子浓度随着微波功率的增加而增加,而高激发态氮分子以及氮分子离子浓度却随着减少。