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CdIn2O4薄膜的AES分析
CdIn2O4薄膜的AES分析
来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanfan001
【摘 要】
:
利用AES方法研究了CdIn2O4膜的成分分布。膜中的Cd、In和O成份随O浓度的变化而变化,并对膜的电学性质有重要影响。
【作 者】
:
陈长勇
廖克俊
【机 构】
:
兰州大学物理系
【出 处】
:
太阳能学报
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
俄欧谱
CdIn_2O_4薄膜
射频溅射
AES
CdIn_2O_4 film
rf.splutting
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利用AES方法研究了CdIn2O4膜的成分分布。膜中的Cd、In和O成份随O浓度的变化而变化,并对膜的电学性质有重要影响。
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