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建立了改进型Delta并联机构的运动位置误差模型，模型不仅考虑构件几何误差，而且在机构动力学研究基础上考虑了的机构主动关节刚度和杆件弹性变形误差因素。结合MATLAB软件生成伪随机变量作为机构可靠性分析的随机抽样试验参数。当机构按某运动规则运动时，利用MonteCarlo法采用点评价方式，得到不同运动时刻机构的运动位置可靠度和机构末端误差的均值和方差。通过对不同误差模型可靠度数据对比，发现机构主动关节刚度和杆件弹性变形误差对机构可靠性的影响不可忽视。