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1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队存超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，
国防科大创造“亚纳米”超精加工奇迹
【摘 要】
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1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队存超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装
【出 处】
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金属加工：冷加工
【发表日期】
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2013年4期
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