论文部分内容阅读
在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中，合成、精馏、还原、氢化、干法尾气回收等主工序都会产生一定量的工艺废气。这些含有氯化氢（HCl）、氯硅烷的工艺废气若直接排放，会造成严重的环境污染。一般情况下，这些工艺废气都要通到碱液洗涤塔进行淋洗中和，经充分水解、中和后方可排空。但碱液洗涤塔的排空处或塔体在一定条件下会发生着火现象