【摘 要】
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建立了一种基于随机共振和微纳传感器阵列的六氟化硫气体检测方法。使用两个360μm极间距离的微纳传感器构成的阵列结合随机共振算法,在室温常压,相对湿度70%的条件下检测3.0
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建立了一种基于随机共振和微纳传感器阵列的六氟化硫气体检测方法。使用两个360μm极间距离的微纳传感器构成的阵列结合随机共振算法,在室温常压,相对湿度70%的条件下检测3.0～24g/m^3SF6气体及纯SF6气体,以信噪比极大值实现各浓度SF6气体的区分。传感器工作于微电离平衡状态,检测过程中无有害气体产生,安全性较高。为检验该方法的实用性,依据国家标准在温度20℃、相对湿度70%和常压条件下模拟现场检测3.0～12g/m^3SF6气体,结果表明：本方法具有较好的重复性和实用性。
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