HFCVD在硬质合金基体上沉积（110）＆（100）金刚石薄膜

来源 :硬质合金 | 被引量 : 0次 | 上传用户：movax

【摘要】

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以CH4和H2为反应气体,用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上沉积了具有(110)和(100)织构的金刚石薄膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、压痕仪对样品进

【作者】

：

刘王平余志明

【机构】

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中南大学材料科学与工程学院

【出处】

：

硬质合金

【发表日期】

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2005年4期

【关键词】

：

HFCVD 金刚石薄膜形貌织构附着力 HFCVD diamond films Surface morphology texture adhesion

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以CH4和H2为反应气体,用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上沉积了具有(110)和(100)织构的金刚石薄膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、压痕仪对样品进行了分析.结果表明:金刚石薄膜由约1μm大小立方金刚石晶粒组成,其形核密度大于2×108/m2;(110)和(100)织构系数分别为0.59和0.033,压痕荷载为588N时附着性能良好.

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