一种非球面测量的新方法

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户：peace060606

【摘要】

：

提出一种基于光镊技术测量非球面面形的新方法.用光镊将直径为微米级的高分子小球移动到被测表面上,小球折射产生的球面波与平面波干涉,形成牛顿环.在相互垂直的二维标尺上分别测量两组牛顿环中心位置,得到小球的三维坐标.光镊对小球只产生亚皮牛量级的作用力,小球对被测表面的弹性变形可以忽略.通过测量若干小球坐标后,可拟合出三维曲面.

【作者】

：

黄大刚王宝光朱连津徐宁

【机构】

：

天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室,南开大学信息技术科学学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

非球面测量光镊聚苯乙烯小球牛顿环二维标尺 aspheric measurement optical tweezers polystyrene bal

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