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回旋加速器的真空系统主要作用是降低束流丢失和为高频高压电场提供绝缘;在加速器工作时,要求其加速腔的真空度达到4.0×10-5mbar以上的高真空（持续抽真空可达10-8mbar级）。在Mini-trace型医用回旋加速器中由两级真空泵构成,第一级的机械泵和第二级的油扩散泵,其原理结构如图1所示。