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纳米复合薄膜的制备方法是多种多样的，一般来说，只要把制备常规薄膜的方法进行适当的改进，控制必要的参数就可以获得纳米复合薄膜，比较常见的制备方法有等离子体化学气相沉积技术(PCVD)、溶胶一凝胶法(sol—gel)、溅射法(Sputtering)和热分解化学气相沉积技术(CVD)等。
纳米复合薄膜制备技术
【摘 要】
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纳米复合薄膜的制备方法是多种多样的，一般来说，只要把制备常规薄膜的方法进行适当的改进，控制必要的参数就可以获得纳米复合薄膜，比较常见的制备方法有等离子体化学气相沉积技术
【出 处】
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技术与市场
【发表日期】
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2001年4期
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