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在改良西门子法生产多晶硅工艺过程中，硅芯是氢气还原三氯氢硅气相沉积生产多晶硅的载体，本文针对国内硅芯炉基座料直径较小（Φ30mm-40mm），导致生产效率低和制造成本高的问题，开展了基于Φ50mm基座料的硅芯制备工艺的研究，在硅芯制备过程中热平衡、质量平衡及熔区受力平衡分析的基础上，通过感应电流的优化和线圈结构的改进，成功在在Φ50mm的硅芯基座料上，实现硅芯的稳定生产。