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研制了一种新型的超小型电磁驱动微机械可调光衰减器（VOA）．该器件采用电磁驱动器转动硅基微镜改变光路实现可调衰减，在结构上采用了全磁性回复，完全摆脱了通常的弹性回复造成的部件疲劳、零点偏移等器件重复性问题．驱动电压为0～5V，工作范围0～40dB，插入损耗小于0．8dB，回波损耗小于-50dB．器件重要部件采用微细电火花加工（EDM）技术制作，并应用FEA软件进行了结构优化，对衰减响应进行了详尽的理论分析．该VOA设计体积仅为25×10×7mm^3，可构成阵列应用于波分复用（WDM／D