【摘 要】
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为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统.介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CC
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
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为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统.介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围.为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据.讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差.最后进行了相关的测量实验.实验结果表明：系统的检测系统分辨率为2.5＂,测角范围为11°,测角精度
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