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介绍了国内外制备GaN材料的历史和现状。分析了GaN材料及其薄膜的各种制备工艺的特点，并详细介绍了采用激光沉积工艺制备GaN薄膜的研究进展。
GaN薄膜制备及脉冲激光沉积法的研究进展
【摘 要】
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介绍了国内外制备GaN材料的历史和现状。分析了GaN材料及其薄膜的各种制备工艺的特点，并详细介绍了采用激光沉积工艺制备GaN薄膜的研究进展。
【机 构】
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武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2006年1期
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