新型二维电容位置传感器

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新型二维电容位置传感器MHw。Bonse等1.前盲目前,人们对二维(ZD)位置测量越来越感兴趣。尤其是在IC生产、生物医学和各种显微技术领域中。迄今,基本的线性位置测量系统主要基于光栅或激光干涉方法,用这些系统可以达到此目的。这些系统在一些应用中也存...
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