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用原子力显微镜(AFM)来测量纳米线宽近几年发展迅速.针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点,本文提出了一个直方图线宽计算模型,并通过实验数据同其他模型进行了比较.该线宽计算模型具有算法简单、抗干扰能力强的优点.
一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型
【摘 要】
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用原子力显微镜(AFM)来测量纳米线宽近几年发展迅速.针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点,本文提出了一个直方图线宽计算模型,并通过实验数据同其他模型进行了比较.该线宽
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2004年3期
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