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“作为新一轮高科技产业发展的焦点，被誉为全世界最有机会、最受追捧的产业。随着LED制造工艺技术的发展，特别是对于高性能LED照明芯片图形化衬底（PSS）而言，传统的接触式曝光模式已不能满足的要求。微高公司根据市场需求，对NIKON公司生产的i7系列机型进行了改造，改造后的设备具备全自动2英寸、3英寸晶片传输、曝光功能，