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介绍了几种新型半导体紫外探测器.列出了这类探测器的各项用途及优点,并对其结构,制作方法以及性能作出了简要说明.N化物半导体紫外探测器具有探测波长范围可调,可靠性好等优点,可以认为是半导体紫外探测器发展的主要方向.
半导体紫外探测器技术进展
【摘 要】
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介绍了几种新型半导体紫外探测器.列出了这类探测器的各项用途及优点,并对其结构,制作方法以及性能作出了简要说明.N化物半导体紫外探测器具有探测波长范围可调,可靠性好等优
【机 构】
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华北光电研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2003年2期
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