一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jsxhshh123456
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3dB,动态范围大于40dB,回波损耗大于40dB.
其他文献
针对基8算法提出一种无冲突地址生成方法,设计了802.11a专用FFT处理器,整体采用流水处理,实现了一种高性能FFT硬件架构,各级RAM采用乒乓操作,每个RAM均由8个独立的SRAM存储体
高等学校实验室是教学、科研的重要基地。实验室的技术装备、管理水平和人员素质在一定程度上反映了这个学校的教学和科研水平。随着海南大学的建设,我校实验室工作几年来有
目的研究腹腔镜直肠癌根治术治疗直肠癌的疗效及对应激反应与预后的影响。方法选取2012年4月-2013年3月河北省承德市中心医院收治的73例直肠癌患者,根据随机数表法分为观察组
2012年6月3日,中国交通企业管理协会客运旅游工作委员会会员大会在扬州召开,来自全国各地客运旅游行业企业的77代表参加了会议。中国交通企业管理协会名誉会长李宗琦、副会长
目的探讨高磁场强度下多b值扩散加权成像结合双指数模型在骨肿瘤定性诊断中的价值。方法对北京大学首钢医院骨肿瘤科的76例患者行常规MRI及多b值(0、50、100、150、200、400
本文综合分析了海南岛水稻低产的主要原因,并针对海南岛自然环境的特点、耕作制度和目前栽培技术水平等方面的情况,提出了扬长避短提高水稻产量的初步设想。
高等学校实验教学设备是参与教学和科研活动的积极因素,是培养学生实验技能、开发学生智力和进行科学技术研究的物质基础。作为实验教学能力组成部分的仪器设备,它是实验室建
随着部分城市出租车经营权的市场化,以及随之出现的一些在出租车经营权转让方面的“潜规则化”,出租车经营管理方面出现的一些问题成为政府主管部门和出租车经营企业所关注的焦
近几年,厦门远洋运输公司深入贯彻落实科学发展观,以"发展远洋运输、发挥对台作用、确保安全生产、构建和谐企业"为发展战略,在深化体制改革、调整经营战略、创新管理模式、实
休克(shock)是急性循环功能不全综合症。其发生机理是某些因素的强烈刺激下,使循环系统机能活动急剧降低,有效循环血量减少,导致体内重要器官的微循环灌注不足,组织缺血缺氧,