【摘 要】
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在微机电系统（micro-electro-mechanical system，MEMS）热电堆器件的测试中，如何给热电堆器件施加合理的周期性红外辐射激励是能否得到正确器件参数的关键。在开发适用于MEMS 热电
【机 构】
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北京大学软件与微电子学院无锡基地,中国科学院微电子研究所
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA041109)
论文部分内容阅读
在微机电系统（micro-electro-mechanical system，MEMS）热电堆器件的测试中，如何给热电堆器件施加合理的周期性红外辐射激励是能否得到正确器件参数的关键。在开发适用于MEMS 热电堆器件的晶圆级测试系统的过程中，提出了一种光学能量传输方案，该方案采用MEMS红外光源JSIR450替代了传统黑体炉作为红外辐射激励源，采用快门替代了光学斩波器对红外信号进行周期性调制。通过实验证明了该方案的有效性，且通过积分的方法证明了MEMS红外光源能量发射端的黑体发射率满足项目要求。
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