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为了提高半导体器件欧姆接触的可靠性，一般要在金属化系统中加扩散阻挡层。文中介绍了阻挡层的种类及其特性，并进行了比较和讨论。最后给出了在实际成功应用的例子。
提高半导体器件欧姆接触可靠性的扩散阻挡层及其应用
【摘 要】
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为了提高半导体器件欧姆接触的可靠性，一般要在金属化系统中加扩散阻挡层。文中介绍了阻挡层的种类及其特性，并进行了比较和讨论。最后给出了在实际成功应用的例子。
【机 构】
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北京工业大学
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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北京市科技新星计划基金
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