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Application of atmospheric pressure plasma polishing method in machining of silicon ultra-smooth sur

来源 :电气与电子工程前沿 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nacle

【作 者】

：

JufanZHANG，BoWANG，ShenDONG 

【出 处】

：

电气与电子工程前沿

【发表日期】

：

2008年4期

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