聚酯膜固体径迹探测器的最佳蚀刻条件

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为研究12 μm厚聚酯膜固体径迹探测器的最佳蚀刻条件,方便固体径迹火化计数器的性能研究,本文通过三种不同的实验方法,对厚度为12μm的聚酯膜蚀刻条件进行分析研究.实验结果表明,12 μm厚聚脂膜的最佳蚀刻条件;温度60C,浓度6mol/L的KOH溶液,蚀刻时间为3h.
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